案例展示
半导体化学机械抛光设备（CMP）国内龙头企业
2012年、2015年、2018年投资
(拟上市)
国内领先的光刻机等集成电路核心设备超精密运动部件自主化
制造商
专业致力于恶劣工况环境下少人/无人化技术设备制造商
2021年投资
专业致力于利用 X 射线和多光谱传感技术用于干式矿石分选的国家高新技术企业
2020年投资
(688120)
中国电子束3D打印领导者
2022年投资
专业从事尖端高纯金属靶坯材料研发、生产的高科技企业
专注于“AI+3D”自主核心芯片技术开发商
专注于高铁轨道路基施工、维护智能监控和灾害防治的领导型物联网企业
2017年投资
Case
国内领先的提供基于毫米波通感算融合产品制造商
2023年投资
智慧尘埃
基于FD-SOI工艺的国产晶圆制造厂商
国内领先的光学晶圆缺陷检测设备制造商
